Chunnaic mi aithisg mar seo o chionn fhada: chuir luchd-saidheans às a’ Ghearmailt, Iapan agus dùthchannan eile seachad 5 bliadhna agus chaith iad faisg air 10 millean yuan gus ball a chruthachadh de stuth fìor-ghlan silicon-28. Feumaidh am ball silicon fìor-ghlan 1kg seo innealachadh Ultra-mionaideach, bleith agus snasadh, tomhas mionaideach (sphericity, roughness and quality), faodar a ràdh gur e am ball as cruinne san t-saoghal.
Bheir sinn a-steach am pròiseas snasadh ultra-chruinneas.
01 An diofar eadar bleith agus snasadh
A ’bleith: A’ cleachdadh mìrean sgrìobach air an còmhdach no air am brùthadh air an inneal bleith, tha an uachdar deiseil le gluasad coimeasach an inneal bleith agus am pìos obrach fo chuideam sònraichte. Faodar bleith a chleachdadh gus diofar stuthan meatailt agus neo-mheatailt a phròiseasadh. Tha na cumaidhean uachdar giullaichte a’ toirt a-steach plèana, uachdar siolandair is bideanach a-staigh agus a-muigh, uachdar spherical dà-chonnach agus cuasach, snàithleanan, uachdar fiacail agus pròifilean eile. Faodaidh cruinneas giollachd ruighinn IT5 ~ IT1, agus faodaidh garbh an uachdar ruighinn Ra0.63 ~ 0.01μm.
Snasadh: Dòigh giollachd a lughdaicheas garbh uachdar a’ phìos obrach le gnìomhachd meacanaigeach, ceimigeach no electroceimiceach gus uachdar soilleir agus rèidh fhaighinn.
Is e am prìomh eadar-dhealachadh eadar an dà chuid gu bheil an crìochnachadh uachdar a chaidh a choileanadh le snasadh nas àirde na a bhith a’ bleith, agus faodar dòighean ceimigeach no electroceimiceach a chleachdadh, fhad ‘s a bhios bleith gu bunaiteach a’ cleachdadh dòighean meacanaigeach a-mhàin, agus tha meud gràin sgrìobach a thathas a ’cleachdadh nas garbh na an fheadhainn a thathas a’ cleachdadh airson snasadh. Is e sin, tha meud a’ ghràin mòr.
02 Teicneòlas snasail fìor-chruinneas
Is e snasadh ultra-chruinneas anam gnìomhachas dealanach an latha an-diugh
Is e misean teicneòlas snasadh fìor mhionaideach ann an gnìomhachas eileagtronaigeach an latha an-diugh chan e a-mhàin diofar stuthan a dhèanamh rèidh, ach cuideachd stuthan ioma-fhilleadh a dhèanamh rèidh, gus an urrainn dha wafers silicon de dhà mhìlemeatairean ceàrnagach deichean de mhìltean a chruthachadh gu VLSI air a dhèanamh suas de mhilleanan de transistors. Mar eisimpleir, tha an coimpiutair a chruthaich daoine air atharrachadh bho dheich tonna gu ceudan de ghramaichean an-diugh, nach gabh a thoirt gu buil às aonais snasadh fìor mhionaideach.
A’ gabhail saothrachadh wafer mar eisimpleir, is e snasadh an ceum mu dheireadh den phròiseas air fad, is e an t-amas na h-uireasbhaidhean beaga bìodach a dh’ fhàg a’ phròiseas roimhe de ghiollachd wafer a leasachadh gus an co-shìnteachd as fheàrr fhaighinn. Feumaidh ìre gnìomhachas fiosrachaidh optoelectronic an latha an-diugh riatanasan co-shìnteachd nas mionaidiche airson stuthan substrate optoelectronic leithid sapphire agus silicon criostail singilte, a tha air ìre nanometer a ruighinn. Tha seo a’ ciallachadh gu bheil am pròiseas snasadh cuideachd air a dhol a-steach don ìre ultra-chruinneas de nanometers.
Cho cudromach sa tha am pròiseas snasadh ultra-chruinneas ann an saothrachadh an latha an-diugh, faodaidh na raointean tagraidh aige an duilgheadas a mhìneachadh gu dìreach, a’ toirt a-steach saothrachadh cuairteachaidh amalaichte, uidheamachd meidigeach, pàirtean fèin-ghluasadach, sgeadachadh didseatach, molltairean mionaideach agus aerospace.
Chan eil an teicneòlas snasta as àirde air a mhaighstireachd ach le beagan dhùthchannan leithid na Stàitean Aonaichte agus Iapan
Is e prìomh inneal an inneil snasta an “diosg bleith”. Tha riatanasan cha mhòr teann aig snasadh ultra-chruinneas a thaobh co-dhèanamh stuthan agus riatanasan teicnigeach an diosc bleith anns an inneal snasta. Feumaidh an seòrsa diosc stàilinn seo a tha air a cho-chur bho stuthan sònraichte chan e a-mhàin coinneachadh ri mionaideachd nano-ìre de ghnìomhachd fèin-ghluasadach, ach cuideachd co-èifeachd leudachaidh teirmeach ceart a bhith aige.
Nuair a bhios an inneal snasta a ’ruith aig astar àrd, ma dh’ adhbhraicheas leudachadh teirmeach deformachadh teirmeach an diosc bleith, chan urrainnear a bhith cinnteach à rèidh agus co-shìnteachd an t-substrate. Agus chan e mearachd deformation teirmeach den t-seòrsa seo nach gabh a cheadachadh tachairt beagan mhìlemeatairean no beagan mhicronan, ach beagan nanometers.
Aig an àm seo, faodaidh prìomh phròiseasan snasadh eadar-nàiseanta leithid na Stàitean Aonaichte agus Iapan coinneachadh ri riatanasan snasta mionaideach de stuthan amh substrate 60-òirleach (a tha ro-mheudach). Stèidhichte air an seo, tha iad air maighstireachd a dhèanamh air prìomh theicneòlas pròiseasan snasadh ultra-chruinneas agus air greim làidir a ghabhail air an iomairt ann am margaidh na cruinne. . Gu dearbh, tha maighstireachd an teicneòlais seo cuideachd a’ cumail smachd air leasachadh gnìomhachas saothrachaidh dealanach gu ìre mhòr.
Le bhith an aghaidh bacadh teignigeach cho teann, ann an raon snasadh fìor mhionaideach, chan urrainn dha mo dhùthaich ach fèin-rannsachadh a dhèanamh an-dràsta.
Dè an ìre de theicneòlas snasta ultra-chruinneas ann an Sìona?
Gu dearbh, ann an raon snasta ultra-chruinneas, chan eil Sìona às aonais euchdan.
Ann an 2011, choisinn an “Cerium Oxide Microsphere Particle Size Particle Material agus an Teicneòlas Ullachaidh aige” a chaidh a leasachadh le sgioba an Dotair Wang Qi bho Ionad Nàiseanta nan Saidheansan Nanoscale aig Acadamaidh Saidheansan Shìona a’ chiad duais ann an Gnìomhachas Petroleum is Ceimigeach Shìona Duais Innleadaireachd Teicneòlais Caidreachas, agus stuthan àbhaisteach meud nanoscale co-cheangailte riutha Fhuair sinn cead ionnstramaid tomhais nàiseanta agus an teisteanas stuthan àbhaisteach nàiseanta den chiad ìre. Tha buaidh deuchainn cinneasachaidh snasta ultra-chruinneas an stuth cerium oxide ùr air a dhol thairis air na stuthan traidiseanta cèin ann an aon thuit swoop, a ’lìonadh a’ bheàrn san raon seo.
Ach thuirt an Dr Wang Qi: “Chan eil seo a’ ciallachadh gu bheil sinn air sreap gu mullach an raoin seo. Airson a’ phròiseas iomlan, chan eil ann ach leaghan snasta ach chan eil inneal snasadh ultra-chruinneas ann. Aig a’ char as motha, chan eil sinn a’ reic ach stuthan.”
Ann an 2019, chruthaich sgioba rannsachaidh an Àrd-ollamh Yuan Julong bho Oilthigh Teicneòlais Zhejiang an teicneòlas giullachd meacanaigeach ceimigeach sgrìobach leth-stèidhichte. Chaidh an t-sreath de dh’ innealan snasta a chaidh a leasachadh a thoirt gu buil le Yuhuan CNC Machine Tool Co., Ltd., agus chaidh an comharrachadh mar ghlainne iPhone4 agus iPad3 le Apple. An aon uidheamachd snasadh mionaideach san t-saoghal airson snasadh backplane pannal agus alùmanum, thathas a’ cleachdadh còrr air 1,700 inneal snasta airson mòr-chinneasachadh de lannan glainne iPhone is iPad Apple.
Tha seun giollachd meacanaigeach na laighe ann an seo. Gus roinn margaidh agus prothaid a leantainn, feumaidh tu do dhìcheall a dhèanamh gus grèim fhaighinn air daoine eile, agus bidh an stiùiriche teicneòlais an-còmhnaidh ag adhartachadh agus ag adhartachadh, a bhith nas grinne, a bhith a’ farpais gu cunbhalach agus a ’glacadh suas, agus a’ brosnachadh leasachadh mòr de teicneòlas daonna.
Ùine puist: Mar-08-2023
